SONOTEC etabliert sich als Aussteller auf dem European CMP and WET Users Group Meeting
Vom 10. bis 11. April 2025 findet in Leuven, Belgien, die Frühjahrskonferenz der European CMP and WET Users Group statt. Als Aussteller präsentiert SONOTEC Sensoren der Produktreihe SEMIFLOW® zur berührungslosen Durchflussmessung von Flüssigkeiten.
Auf dem European CMP and WET Users Group Meeting am 10. und 11. April 2025 in Leuven, Belgien, setzt SONOTEC sein Engagement als Aussteller bei der Veranstaltungsreihe fort. Der Spezialist für Ultraschall-Durchflusssensoren informiert an seinem Stand über seine SEMIFLOW Sensorfamilie, die speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Zusammen mit den industriellen SONOCHECK Luftblasendetektoren können die kompakten SEMIFLOW Durchflusssensoren in verschiedenen Prozessschritten der Waferherstellung und -bearbeitung eingesetzt werden.
Die Konferenz in Leuven thematisiert das chemisch-mechanische Planarisieren / Polieren (CMP) und bietet ausgezeichnete Möglichkeiten für Diskussionen über Technologien, neue Anwendungen, Messtechnik, Prozesskontrolle und vieles mehr. Für CMP-Fachleute ist die Konferenz der ideale Treffpunkt, um Innovationen zu diskutieren und Erfahrungen auszutauschen.
„Der Halbleitermarkt ist dynamisch und anspruchsvoll, geprägt von globalen Herausforderungen und einer wachsenden Nachfrage nach innovativen Technologien. Trotz dieser volatilen Marktbedingungen haben wir uns als Unternehmen erfolgreich positioniert. Durch strategische Investitionen, enge Partnerschaften und eine hohe Innovationskraft konnten wir unser Wachstum nachhaltig vorantreiben und unsere Marktposition stärken. Gerade Fachveranstaltungen wie das European CMP and WET Users Group Meeting bieten uns hervorragende Möglichkeiten, mit Experten der Branche zu sprechen und so unsere Sensortechnologie noch besser an die Anforderungen im Halbleitermarkt anzupassen“, erklärt Anika Baumhauer, Internationale Strategie- und Vertriebsmanagerin bei SONOTEC.
SONOTEC hat die kompakten und robusten Durchflusssensoren der Serie SEMIFLOW entwickelt, um den Transfer und die Verteilung von Chemikalien und anderen Flüssigkeiten innerhalb einer Fab und innerhalb eines Prozesses effizient zu messen und zu überwachen. So werden die Sensoren beispielsweise zur Messung der Slurry-Zufuhr in CMP-Prozessen oder zur Überwachung des Volumens von Ätzprozessen in Wet Bench Linien eingesetzt. Die Bestimmung von Durchflussrate oder Volumen erfolgt mittels Clamp-On Architektur von außen an branchenspezifischen starren Kunststoffrohren und -leitungen und schließt damit jegliches Risiko der Kontamination oder Leckage aus.
Das robuste Sensormaterial ermöglicht einen langen Produktlebenszyklus, und der minimale Stromverbrauch sorgt für niedrige Betriebskosten. So können die berührungslosen Durchflussmesser zu Nachhaltigkeitsstrategien in den Fabs beitragen. Die SEMIFLOW Sensoren zeichnen sich außerdem durch ihr kompaktes Gehäusedesign mit integrierter Elektronik aus. Sie benötigen wenig Platz in der Anlage und lassen sich leicht in bestehende Prozessketten und Architekturen integrieren. SONOTEC bietet die SEMIFLOW Serie in verschiedenen Größen an, um ein umfassendes Spektrum an Durchmessern von PFA-, PTFE- und anderen harten Kunststoffrohren abzudecken.
Für die Durchflussmessung in explosionsgefährdeten Umgebungen bietet SONOTEC die SEMIFLOW CO.66 PI Ex1-Sensorserie an. Die eigensicheren Ultraschall-Durchflussmesser sind für den sicheren Betrieb in Produktionsbereichen der Zone 1 nach ATEX/IECEx ausgelegt. Die Sensoren sind gegen Explosionsgefahren durch Gase und Dämpfe nach den Normen der Gasgruppe IIB geschützt; der Geräteschutzgrad (EPL) ist „Gb“.
Treffen Sie SONOTEC vom 10. bis 11. April 2025 während des European CMP and Wet Users Group Meetings im R&D Center imec in Leuven, Belgien.