SONOTEC präsentiert Sensoren für Halbleitermarkt auf dem ICPT-Symposium

Vom 15. bis 18. Oktober 2024 findet in Wiesbaden die 19. Internationale Konferenz für Planarisierung / CMP-Technologie statt. SONOTEC präsentiert vor Ort Sensoren der Produktreihe SEMIFLOW® zur berührungslosen Durchflussmessung von Flüssigkeiten in Halbleiterfertigungsprozessen.

Zum ersten Mal nimmt SONOTEC an der International Conference on Planarization / CMP Technology (ICPT) in Wiesbaden teil. Als einer der Veranstaltungssponsoren präsentiert der Ultraschallspezialist dem interessierten Fachpublikum seine kompakten Durchflusssensoren und Luftblasendetektoren am Stand 25.

Die Konferenz konzentriert sich auf das chemisch-mechanische Planarisieren / Polieren (CMP) und bietet hervorragende Möglichkeiten für Diskussionen über Technologien, Polierverfahren, Verbrauchsmaterialien, neue Anwendungen, Messtechnik, Prozesskontrolle und vieles mehr. Die Konferenz ist die ideale Veranstaltung für Wissenschaftler und Ingenieure, um zu diskutieren und Erfahrungen auszutauschen.

Mit dem Ziel, den Transfer und die Verteilung von Chemikalien und anderen Flüssigkeiten innerhalb einer Fab effizient zu messen und zu überwachen, hat SONOTEC die kompakten und robusten Durchflusssensoren der Serie SEMIFLOW entwickelt. Die innovativen Sensoren können zum Beispiel zur Messung der Slurry-Dosierung in CMP-Prozessen und zur Überwachung des Füllvolumens von Ätzprozessen in Wet Bench-Linien eingesetzt werden und erfüllen die besonderen Anforderungen des Halbleitermarktes.

„Sensordaten in Echtzeit können zur Verbesserung der Prozesseffizienz, der Zuverlässigkeit und der Produktqualität genutzt werden, was letztlich zu besseren Produktionsergebnissen und Kosteneinsparungen führt. Beispielsweise ermöglicht die Echtzeitüberwachung kritischer Prozessparameter wie der Durchflussrate die Aufrechterhaltung der Prozessstabilität und Produktqualität. Darüber hinaus lassen sich anhand von Sensordaten Frühwarnsignale für eine Verschlechterung oder Fehlfunktion von Anlagen erkennen, so dass proaktive Wartungseingriffe möglich sind, um kostspielige Ausfallzeiten oder Ausschuss zu vermeiden“, erklärt Anika Baumhauer, Internationale Strategie- und Vertriebsmanagerin bei SONOTEC.

SEMIFLOW-Durchflusssensoren messen zuverlässig abrasive, anhaftende, korrosive und ultrareine Flüssigkeiten auf branchenspezifischen starren Kunststoffrohren und -leitungen. Dank der berührungslosen Clamp-On Architektur besteht kein Risiko von Kontamination oder Leckagen. Daher eignen sich die Ultraschallsensoren für hochsensible Halbleiterfertigungsprozesse, die höchste Genauigkeit und Prozessstabilität erfordern. Darüber hinaus verursacht das berührungslose Messverfahren keinen Verschleiß des Sensors. Die Clamp-On Ultraschallsensoren sind wartungsfrei.

Das robuste Sensormaterial ermöglicht einen langen Produktlebenszyklus, und der minimale Stromverbrauch sorgt für niedrige Betriebskosten. So können die berührungslosen Durchflussmesser zu Nachhaltigkeitsstrategien in den Fabriken beitragen. Die SEMIFLOW-Sensoren zeichnen sich außerdem durch ihr kompaktes Gehäusedesign mit integrierter Elektronik aus. Sie benötigen wenig Platz in der Anlage und lassen sich leicht in bestehende Prozessketten und Architekturen integrieren. SONOTEC bietet die SEMIFLOW-Serie in verschiedenen Größen an, um ein umfassendes Spektrum an Durchmessern von PFA-, PTFE- und anderen harten Kunststoffrohren abzudecken.

Für die Durchflussmessung in explosionsgefährdeten Umgebungen bietet SONOTEC die SEMIFLOW CO.66 PI Ex1-Sensorserie an. Die eigensicheren Ultraschall-Durchflussmesser sind für den sicheren Betrieb in Produktionsbereichen der Zone 1 nach ATEX/IECEx ausgelegt. Die Sensoren sind gegen Explosionsgefahren durch Gase und Dämpfe nach den Normen der Gasgruppe IIB geschützt; der Geräteschutzgrad (EPL) ist „Gb“.

Treffen Sie SONOTEC vom 15. bis 18. Oktober 2024 am Stand 25 auf der ICPT in Wiesbaden.