Ultraschall Clamp-On Durchflussmesser
SEMIFLOW® CO.65 und SEMIFLOW® CO.66 PI Ex1 zur berührungslosen Durchflussmessung an harten Kunststoffschläuchen und -rohren
Der Ultraschall Clamp-On Durchflussmesser SEMIFLOW CO.65 eignet sich hervorrangend für eine Reihe von Prozessen in der Halbleiterindustrie, bei denen verschiedene abrasive, anhaftende, korrosive und hochreine Flüssigkeiten Verwendung finden. Um die Stabilität und hohe Qualität dieser Prozesse zu gewährleisten, ist eine ständige Überwachung des Durchflusses an harten Kunststoffschläuchen und -rohren von großer Bedeutung.
Ausgestattet mit einer integrierten Elektronikeinheit funktionieren die Sensoren als kompletter Durchflussmesser in der Größe eines kleinen Transducers ohne externe Platine oder Messumformer.
Für berührungslose Durchflussmessungen an flexiblen Kunsstoffschläuchen ist der SONOFLOW CO.55 Ultraschall Clamp-On Durchflusssensor die perfekte Lösung.
Produktvorteile
- Hochpräzise kontaktlose Durchflussmessung
- Innovativer berührungsloser Clamp-On Mechanismus zur Verbesserung von Betriebszeiten durch Vermeidung von Kontamination und Leckagen
- Anwendungen an PFA-, PTFE und anderen harten Schläuchen und Rohren aus Kunststoff
- Keine kostspieligen Prozessstörungen bei Sensoraustausch oder -nachrüstung
- Sensorset zur Anwendung in explosionsgefährdeten Bereichen (ATEX / IECEx – Ex Zone 1)
- Unterstützung aller gängigen Industrieschnittstellen
SEMIFLOW® CO.65 Ultraschall Clamp-On Durchflussmesser: Anwendungsbereiche
- Anlagen zur Waferreinigung
- Lithografieanlagen
- Mischanlagen
- Chemikalienversorgungssysteme
- Slurry Line
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