SONOTEC mit Partner S3 Alliance gemeinsam auf der SEMICON Europa

Vom 14. bis 17. November 2023 trifft sich die europäische Halbleiterindustrie in München auf der SEMICON Europa, der führenden Fachmesse für den Halbleitermarkt. Auf dem Gemeinschaftsstand B1.907 in Halle B1 stellen SONOTEC und sein strategischer Vertriebspartner S3 Alliance das jeweilige Produktportfolio zusammen aus. Der Ultraschallspezialist präsentiert seine kompakte SEMIFLOW^®-Sensorserie für die berührungslose Durchflussmessung von Flüssigkeiten in der Halbleiterfertigung.

Auf der Messe zeigt SONOTEC seine breite Produktpalette an präzisen und zuverlässigen Durchflusssensoren und Luftblasendetektoren. Um den besonderen Anforderungen des Halbleitermarktes gerecht zu werden hat der Branchenführer für berührungslose Ultraschallmesstechnik die hochgenauen SEMIFLOW-Durchflusssensoren entwickelt, um die Verteilung und den Transfer von Chemikalien und anderen Flüssigkeiten innerhalb einer Fab effizient zu messen und zu überwachen. Die kompakte Sensorserie kann z.B. zur Messung der Slurry-Volumenabgabe in CMP-Prozessen sowie zur Überwachung des Füllvolumens bei Ätzverfahren in Nassstrecken eingesetzt werden.

Seit den ersten erfolgreichen Schritten in den Halbleitermarkt vor einigen Jahren ist es SONOTEC gelungen, einen starken und loyalen Kundenstamm sowie strategische Vertriebspartnerschaften weltweit aufzubauen. Jüngste Investitionsentscheidungen namhafter Global Player für den Bau neuer Fabs oder den Ausbau bestehender Fertigungskapazitäten in Deutschland bestärken den Sensorspezialisten in seiner Fokussierung auf den Halbleitermarkt. So intensiviert SONOTEC die Zusammenarbeit mit Kunden, um die SEMIFLOW-Sensorserie stetig zu verbessern und die Sensoren für weitere hochspezialisierte Fertigungsprozesse anzupassen. Darüber hinaus baut der Ultraschallspezialist sein Team kontinuierlich aus, um der steigenden Anzahl von Anfragen nach Durchflusssensoren aus der Industrie gerecht zu werden.

Als aktives Mitglied von Silicon Saxony, dem innovativen Hightech-Netzwerk für Mikroelektronik, Smart Systems und Software, ist SONOTEC Teil wegweisender Technologieunternehmen, die den Halbleitermarkt weiter voranbringen. „Wir erwarten in den kommenden Jahren erhebliche Fortschritte auf dem Halbleitermarkt, getrieben durch Innovationen bei der Elektromobilität, die Digitalisierung und dem Ziel, höhere Wirkungsgrade und Spitzenleistungen in der Mikroelektronik zu erreichen. Diese Entwicklungen werden präzisere und effizientere Lösungen für die Durchflussmessung erfordern, die die Leistung und Zuverlässigkeit von Halbleiterfertigungsprozessen verbessern und gleichzeitig zu den Nachhaltigkeitsbemühungen der Branche beitragen“, so Anika Baumhauer, Internationale Strategie- und Vertriebsmanagerin bei SONOTEC.

SEMIFLOW-Durchflusssensoren messen zuverlässig abrasive, anhaftende, korrosive und ultra-reine Flüssigkeiten in festen Kunststoffrohren und -schläuchen. Die berührungslose Clamp-On-Architektur beugt jeglichem Risiko von Kontamination und Leckagen vor. Daher eignen sich die Ultraschallsensoren für hochsensible Halbleiterfertigungsprozesse, die höchste Genauigkeit und Prozessstabilität erfordern. Darüber hinaus bedeutet das berührungslose Messverfahren Verschleiß- und Wartungsfreiheit.

Der robuste Sensor überzeugt durch einen langen Produktlebenszyklus und sorgt dank minimalem Stromverbrauch für niedrige Betriebskosten. So können die berührungslosen Durchflusssensoren zu Nachhaltigkeitsstrategien in den Fabs beitragen. Die SEMIFLOW-Sensoren zeichnen sich außerdem durch ein kompaktes Gehäusedesign mit integrierter Elektronik aus. Sie benötigen wenig Platz in der Anlage und lassen sich leicht in bestehende Prozessketten und Architekturen integrieren. SONOTEC bietet die SEMIFLOW-Serie in verschiedenen Größen an, um einen großen Durchmesserbereich von PFA-, PTFE- und anderen Hartkunststoffrohren abzudecken.

Um eine genaue Durchflussmessung in explosionsgefährdeten Umgebungen zu gewährleisten, hat SONOTEC die Sensorreihe SEMIFLOW CO.66 PI Ex1 entwickelt. Die eigensicheren Ultraschall-Durchflusssensoren sind für den sicheren Betrieb in Produktionsbereichen der Zone 1 nach ATEX/IECEx ausgelegt. Die Sensoren sind gegen Explosionsgefahren durch Gase und Dämpfe nach den Normen der Gasgruppe IIB geschützt; das Geräteschutzniveau (EPL) ist "Gb".

Treffen Sie SONOTEC und S3 Alliance am Stand #B1.907 in Halle B1 auf der SEMICON Europa in München vom 14. bis 17. November 2023.